| 規格 | 參數 |
| 移動距離 | X: Y: Z: |
| [敏感詞]移動速度 | 步進:X,Y300mm Z150mm |
| 伺服:X,Y,700mm Z500mm | |
| 位置往返精度 | +/-0.0.2mm |
| 控制軸數 | 3軸同動;2軸插補 |
| 小位置設定 | 0.0625mm |
| 驅動方式 | 2相步進或AC伺服選配 |
| 操作介面 | |
| 外部接口 | |
| 電源 | |
| 自我冷斷功能 |
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